特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過(guò)程不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準(zhǔn)確性。沃飛科技提供太陽(yáng)能光伏工廠所使用的高純度氣體(O2/Ar/N/H2/He等)、特氣(SiH4/GeH4/PH3/AsH3/SbH3/B2H6/BF3/NF3/PF3/PF5/CF5/CF4/C2H6/C3F8等)綜合供氣系統(tǒng);排氣處理、監(jiān)視系統(tǒng)的綜合管理系統(tǒng);建立以安全為第一的特氣管理輸送系統(tǒng)。從設(shè)計(jì)、選型、制造、安裝、測(cè)試、調(diào)試和系統(tǒng)托管服務(wù)

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