SEMI S2 標(biāo)準(zhǔn)涵蓋了半導(dǎo)體制造設(shè)備的環(huán)境、健康及安全條件，是一個(gè)綜合性的標(biāo)準(zhǔn)。代表了半導(dǎo)體廠家的基本安全要求，而半導(dǎo)體行業(yè)離不開特種氣體，所以保證安全穩(wěn)定輸送特種氣體的特氣柜也需要擁有SEMI S2認(rèn)證。

因?yàn)榘雽?dǎo)體行業(yè)涉及到很多特種氣體、化學(xué)品及電氣、廠務(wù)、游離及非游離的輻射，所以在設(shè)備廠商進(jìn)行設(shè)計(jì)時(shí)要引入SEMI S2標(biāo)準(zhǔn)，也即為EHS標(biāo)準(zhǔn)。這一點(diǎn)是非常重要的，如果處理不好，下游用戶在使用是時(shí)候就很容易導(dǎo)致事故甚至災(zāi)難。

特氣柜在SEMI S2中認(rèn)證哪些內(nèi)容呢？

SEMI S2在認(rèn)證中綜合考慮了與設(shè)備相關(guān)的使用者文件、危險(xiǎn)性警告標(biāo)志、安全連鎖裝置、緊急停機(jī)、電氣安全、消防安全、人體工學(xué)、危險(xiǎn)能量隔離、機(jī)械設(shè)計(jì)安全、地震保護(hù)、自動機(jī)械設(shè)備、環(huán)境因素、排氣、噪音等內(nèi)容。以確保設(shè)備本身安全及對環(huán)境、對人員的安全性，

沃飛WOFLY全自動特氣柜（GC）擁有SEMI S2認(rèn)證，是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險(xiǎn)性特種氣體供應(yīng)而設(shè)計(jì)的特氣設(shè)備，以PLC為控制主體，配合觸摸屏進(jìn)行系統(tǒng)顯示和設(shè)定，實(shí)現(xiàn)設(shè)備安全有效的運(yùn)行，基本功能包括自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷（當(dāng)設(shè)定報(bào)警信號被觸發(fā)時(shí)），還可根據(jù)不同的氣體特性和氣體使用要求，搭配不同的盤面設(shè)計(jì)，以滿足半導(dǎo)體行業(yè)需求。

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