閥門箱VMB（Valve Manifold Box）/閥門盤VMP(Valve Manifold Panel)
是一種內嵌多支分發管與排氣管的箱子。它能讓氣體從單一來源被分配到多點應用 (典型設計為四點, 操作手冊有介紹)。對于每個使用點, 氣壓可被單獨地調控, 從而滿足個別應用需求。它還提供循環清潔功能和真空抽氣功能, 因此能夠在無危險氣體泄漏的情況下安全地拆卸 VMB 的每一部份。除此以外, 它也能在不影響其它應用點的氣體供應下, 清洗某一氣體分發管或者對其進行真空抽氣。VMB 被設計且制造成為單一氣體使用，不能讓兩種氣體共同使用。專為腐蝕性、毒性等危險性氣體供應。VMP（Valve Manifold Panel）與VMB區別在于它使用的開放式管道分配部件，一般用于惰性氣體。

目前因制程越來越先進，所以產生BSGS的系統，而未達到供應的穩定，且可以一臺分配到多臺VMB，所以在中間都會在增加VDB 。VDB（Valve Distributing Box）就是VMB的總管,主管路到FAB內先接VDB,再分到各各VMB內，其中的VDB有些廠叫做FDB(Flow Dispense Box)，流量分配盒，一般都是用在流量需求特別大的氣體供應上。VDB是進二（有一路做BACKUP）路管道，出多路管道。惰性氣體可選用VDP（Valve Dispense Panel）。

閥門箱VMB（Valve Manifold Box）/閥門盤VMP(Valve Manifold Panel)硬件簡介：
1. 人機界面：作為人與控制器的控制與溝通界面。
一方面可顯示系統目前的狀況，同事亦可接受操作人員下達的指令，作為系統運作的確認。
2. PLC：整體控制的處理中心。
3. 電磁閥：控制氣動閥的開閉。
(電磁閥為可撥式Type，可依需求強制開啟電磁閥)
4. 警急遮斷按鈕：系統發生異常時按此鈕關閉盤面氣動閥。
5. LED指示燈：以亮燈表示系統目前的狀態。
系統正常：（Normal）
存量不足：（Low Quantity）
異常報警：（Shutdown）Or (Warning)
6. 紫/紅外線火焰感知器：當感測到火災發生時作動，將訊息傳至PLC處理。
7. 差壓設定開關：當箱體與大氣壓之差壓未達設定值動作，將訊息傳至PLC處理。
8. 差壓計：顯示箱體與大氣壓之差壓。
9. 繼電器：依電路設計可作為控制或接點之輸出。
10. 電源供應器：因控制回路所使用之電源為DC 24V，故需Power Supply做為轉換。
11. 溫度開關：當感測到箱體溫度高于設定值時，將訊息傳至PLC處理。
12. I.A過流量開關：當驅動氣動閥之軟管松脫或爆裂導致流量過大，將輸出訊號告知。

安全功能介紹
1. 緊急停止按鈕：按下緊急停止按鈕即可關斷所有的氣動閥。
2. 遠程緊急停止控制：當遠程緊急停止動作驅動則即可關斷所有的氣動閥。
3. I.A壓力開關：當氣動閥驅動壓力不足時則會輸出警報告知。設定壓為 0.4 ~ 0.63 Mpa
4. 過溫開關：當偵測到箱體環境溫度高于設定值時則會輸出警報告知并且自動關閉所有閥件。設定溫度為70℃
5. 紫/紅外線火焰感知器：當感測到火災發生時作動，則會輸出警報告知并且自動關閉所有閥件。
6. 過流量開關：當管路內的流量過大導致驅動過流量開關(EFS)，則會輸出警報告知并且自動關閉該使用側的閥件。
7. 壓差開關：當箱體內的壓差過小的狀態下，則會輸出警報告知。設定壓差為50 Pa以上。當壓差不足，當氣體外泄時時易發生氣體擴散出箱體，故開啟箱體門前敬請注意箱體與大氣的壓差是否足夠。

以上就是沃飛科技為大家介紹的閥門箱VMB（Valve Manifold Box）/閥門盤VMP(Valve Manifold Panel)