半導體制造生產中會使用到多種特殊氣體，隨之產生的特氣尾氣需先通過尾氣處理裝置Local Scrubber做處理，再接續至廠務端做第二道處置后排出。這樣是為了避免在冗長的排氣過程中引發非預期的氣體泄漏，局部聚積或相互反應等意外，以減少廠務端污染物處理上的負荷，達到對半導體業空氣污染管制及排放的標準，避免對環境和周邊人員造成危害。

吸附式尾氣處理裝置Local Scrubber幾乎能夠處理所有小流量的氣體（部分PFC氣體除外），同時因其無需明火、不產生廢水、低能耗的性能特點，是特氣尾氣處理的常用裝置。

在吸附式尾氣處理裝置 Local Scrubber 中吸附材以高孔隙率和高密度填充提升入口出口壓差，因此尾氣出口端增加變頻風機可起到以下作用：

1、提升壽命：變頻風機可增加抽氣壓力，以增加藥劑填充數量，提升使用壽命。

2、穩定壓力：變頻風機可根據設定壓力值或廠務端氣壓自動調整風機轉速，穩定設備內壓力值和氣體流量，保證處理效率穩定。

3、避免回流：制程中若含有易阻塞管道和藥劑的粉塵，PLC會依據設定壓力，自動調整風機轉速維持入口壓力值，避免廢氣回流，造成系統及設備損害。

以上，就是在半導體制程工藝吸附式特氣尾氣處理裝置 Local Scrubber 中變頻風機的作用，感謝您的閱讀！