如何有效地延長(zhǎng)腐蝕性氣體管道系統(tǒng)（例如Cl2或BCl3系統(tǒng)）的壽命。

維護(hù)腐蝕性氣體管道系統(tǒng)（例如Cl2或BCl3）是保持氣體潔凈程度的一項(xiàng)基本功能。水分是大多數(shù)腐蝕性氣體的第一大敵人，不需要花費(fèi)很多時(shí)間即可破壞您的氣體管道系統(tǒng)。沃飛科技已經(jīng)在特氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)安裝領(lǐng)域耕耘了近10年，我們看到有些氣體管道系統(tǒng)只使用了一兩年，而有的系統(tǒng)則可以在10年后仍然運(yùn)行良好。兩者之間的區(qū)別在于對(duì)氣體系統(tǒng)的維護(hù)方式。

您可以采取以下措施來(lái)延長(zhǎng)氣體系統(tǒng)的使用壽命：

1.在特氣柜更換氣瓶前，請(qǐng)確保充分循環(huán)清洗吹掃特氣柜系統(tǒng)。始終在氣柜上使用自動(dòng)循環(huán)清洗功能，并將其至少設(shè)置為75次循環(huán)清洗。這樣可以在打開(kāi)連接并允許大氣進(jìn)入管道之前有效地去除腐蝕性氣體，然后在安裝氣瓶之后，重新引入腐蝕性氣體之前有效地去除空氣。在打開(kāi)氣瓶之前，較高質(zhì)量的氣柜會(huì)在尾纖上抽真空到主截止閥，因此請(qǐng)勿將特殊氣體與N2混合。

2.確保已啟用“吹掃吹掃”選項(xiàng)以啟用過(guò)程吹掃，并確保快速更換氣缸。細(xì)流吹掃允許在更換鋼瓶期間向管中填充少量氮?dú)猓允勾髿獠粫?huì)向上流到尾纖，而快速鋼瓶更換可最大程度地縮短管道通向大氣的時(shí)間。

3.始終將DISS接頭用于規(guī)格氣體和吹掃氣體。沒(méi)有CGA配件！使用DISS配件，可以獲得高純度的連接，而不是CGA的摩擦密封，并且使用DISS，還可以確保獲得更高純度的吹掃氣體，從而降低了氮?dú)獾乃趾俊?br/>
4.確保獲得UHP級(jí)規(guī)格的氣體和氮?dú)猓驗(yàn)榧兌容^高，因此水分較低。

5.將氣瓶以及氣柜存放在恒溫室中。因此，例如，如果您在北方，并且是冬天，那么您的鋼瓶最終可能會(huì)被存放在冷藏室中。如果將冷氣瓶連接到溫暖的系統(tǒng)，則很容易在系統(tǒng)中結(jié)露水分，這會(huì)急速損壞系統(tǒng)。

6.確保每個(gè)氣柜都有專用的凈化缸。請(qǐng)勿將所有機(jī)柜都連接到家用凈化器或1個(gè)凈化瓶。原因是如果您失去了一個(gè)止回閥，并且有毒氣體回流到您的氮?dú)夤?yīng)中，有可能污染您的氮?dú)狻?br/>
注意：如果您的氣體管線被污染，最有可能首先在調(diào)節(jié)器中看到它。壓力將開(kāi)始“上升”，調(diào)節(jié)器不會(huì)關(guān)閉。這是因?yàn)樗謺?huì)因壓降而掉落，并且在閥座干涉區(qū)域，閥膜和閥座下游的提動(dòng)閥芯上開(kāi)始腐蝕。由于您的管線受到污染，因此更換調(diào)節(jié)器無(wú)濟(jì)于事。此時(shí)，您將必須重建氣體面板，并且很可能要重建工具的氣體管線。