因使用環(huán)境、行業(yè)領域等的不同，高純工藝系統(tǒng)會以不同的形式呈現(xiàn)，在泛半導體行業(yè)中，常用的高純工藝系統(tǒng)便是超高純電子特氣系統(tǒng)（以下簡稱特氣系統(tǒng)）。

特氣系統(tǒng)被泛半導體行業(yè)廣泛應用的原因？

半導體行業(yè)的不斷發(fā)展，對高純特種氣體的需求越來越大、要求越來越嚴格。在生產(chǎn)中，高純特種氣體直接影響產(chǎn)品的好壞、生產(chǎn)率和良品率。

但特種氣體大都具有有毒、易燃易爆、高腐蝕性、高氧化性等性質(zhì)，如H2Se、SIH4、CL2、NF3等，因此如何安全、穩(wěn)定、可靠地貯存和輸送高純特種氣體呢？特氣系統(tǒng)工程應運而生。

特氣系統(tǒng)的設計理念——安全！

在特氣系統(tǒng)設計之初，“安全”的設計理念便已貫穿其中，在特氣系統(tǒng)工程的設計安裝、操作和維護都有相應的標準操作規(guī)程。比如：特氣系統(tǒng)的相關操作人員需要經(jīng)過專業(yè)的特氣設備操作維護運行及異常處理的專業(yè)培訓后方可上崗作業(yè)。

因為特氣事故的發(fā)生是非常危險和可怕的。

特氣系統(tǒng)的組成部分？

特氣系統(tǒng)是通過設備、氣體管道和閥門部件從供氣源為終端的使用設備，安全穩(wěn)定的輸送高純氣體的高純氣體工藝系統(tǒng)。

在特氣系統(tǒng)工程中最具代表性的設備便是沃飛特氣柜了，沃飛特氣柜的負壓系統(tǒng)、氣體偵測報警系統(tǒng)、自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷等功能都在很大程度上保障了氣體的純度、使用安全和穩(wěn)定供氣。

以上，就是常用于泛半導體行業(yè)中的超高純電子特氣系統(tǒng)工程的一些設計理念和系統(tǒng)組成上的簡單介紹，感謝您的閱讀！