隨著制程技術不斷演進，使得相關供應系統等級及質量日趨精密且復雜，其廢氣問題也越發凸顯，如毒性氣體、化學藥品等所產生的廢氣，便是造成環境惡化的來源之一，因此，如何處理此類高純度且大量的毒性物質之排放，是尾氣處理設備和廢氣治理的重要工作與任務。

坤化氫AsH?，也稱砷烷，是一種無色劇毒氣體，常用于半導體工業中，如外延硅的N型摻雜、硅中N型擴散、離子注入、生長砷化鎵（GaAs）、磷砷化鎵（GaAsP）以及與某些元素形成化合物半導體。 

坤化氫對人體的危害性：

砷化氫是強烈的溶血性毒物，砷化氫中毒程度與吸入砷化氫的濃度密切相關，潛伏期愈短則臨床表現愈嚴重。輕度中毒有頭暈、頭痛、乏力、惡心、嘔吐等癥狀；重度中毒發病急劇，有高熱、昏迷、抽搐、急性腎功能衰竭及全身重度黃疸等癥狀；對心、肝、肺等也有直接的毒害作用。 

對于坤化氫AsH?的廢氣處理可采用吸附式尾氣處理設備，有吸附效率好、無高耗能需求、無塵室不產生火源等特點；同時設備各管路進、出口設計壓力、溫度、CDA流量、N2流量傳感器，針對設備運行時各種狀況，全面監控；確保尾氣處理的安全性處理過程中沒有危害。

綜上，如坤化氫AsH?此類物質的高純度廢氣排放會對環境和周邊人員的生命安全造成很大的影響，所以，在排放前應經尾氣處理設備進行處理后方可排放。關于坤化氫AsH?廢氣尾氣處理設備的介紹就到這了，感謝您的閱讀！