特氣系統是保證半導體、集成電路、太陽能電池、光纖和科研實驗室等高新型技術行業中特種氣體的安全穩定輸送的供氣系統。VMB在特氣系統中是特氣分配到各工藝用氣點的氣體設備。

特種氣體

特種氣體，簡稱特氣，又名電子特氣，是生產半導體、集成電路、太陽能電池等電子產品的特殊氣體，這些特殊氣體大多都是易燃易爆、有毒、腐蝕性、氧化性等性質的危險性氣體，如硅烷SiH4、笑氣N2O等。

特氣系統的組成

特氣系統由供氣端（一般是氣體鋼瓶）、GC電子特氣柜/GR特氣架、氣體分配箱VMB/VMP、耐腐蝕的EP不銹鋼氣體管道、氣體泄漏監測報警系統、使用終端等組成。

VMB在特氣系統中的經濟性

首先，我們來了解一下VBM在特氣系統中的作用，VMB 可根據客戶的實際需求來設計2、3、4、5或其他點數的數目，將氣體一分多，給不同工藝用氣設備供氣，同時供應數臺機臺，亦可加調壓閥做二次調壓讓壓力更加的穩定，設定上下警報訊號做更有效的供應控制。

同時，在特氣系統中，特氣的每次使用都是需要經過吹掃和抽真空的，對于使用同種氣體的不同用氣設備，配置氣體分配箱VMB則只需要做一次吹掃和抽真空，節省時間成本和人力成本。

以上就是關于特氣系統中氣體分配箱VMB作用的簡單介紹，感謝您的閱讀！