硅烷特氣柜設計及氣路管道要求

　　硅烷在高科技種應用越來越廣泛，硅烷有什么作用，硅烷控制系統設計有哪些要求?這里將進行介紹。硅烷之所以在高科技中被廣泛應用并且越來越重要, 首先是與它的特性有關，同時也與現代高技術的特殊需求有關。通過熱分解或與其它氣體的化學反應，

　　

硅烷的有什么作用

　　1、可由硅烷制得單晶硅、多晶硅、非晶硅、金屬硅化物、氮化硅、碳化硅、氧化硅等一系列含硅物質。

　　2、利用硅烷可以實現zui高的純度、zui精細(可達原子尺寸)的控制和最靈活多變的化學反應。從而將各種含硅材料按各種需要制成復雜精細的結構, 這正是現代具有各種特異功能的材料和器件所要求的基本條件。

　　硅烷特氣柜設計要求

　　1、硅烷由于其極其危險性，整套系統應該設置獨立的惰性氣體鋼瓶進行吹掃，不得采用管道氮氣吹掃;

　　2、應該配備惰性吹掃裝置、氣體泄露偵測器、火焰探測器等;

　　3、硅烷系統的排氣管不得接入排風系統;

　　4、排氣管應采用惰性氣體連續吹掃，吹掃氣體流速不得小于0.3m/s

　　5、排氣的硅烷濃度較高時，應采用燃燒式尾氣處理裝置處理后排入大氣。

　　硅烷特氣管道要求

　　特氣管道安裝一般采用充氬氣加熱處理而成，EP管采用電解研磨方式加工而成。其內、外表面極其光亮。潔凈管道的焊接除了要達到常規工業管道對焊縫的要求外，還要求焊接時管內、外表面不受污染，焊縫內、外表面必須與母材光亮度基本一致。