廢氣處理是制造過(guò)程中經(jīng)常被忽視但至關(guān)重要的組成部分，歷史上幾個(gè)嚴(yán)重的事故，就有發(fā)生在沒(méi)有安裝減排、尾氣處理設(shè)備的工廠中。但如今，尾氣處理仍常常被工廠看作為成本，而不是安全問(wèn)題。

工廠安裝尾氣處理設(shè)備有三個(gè)主要原因：

第一、是健康和安全，半導(dǎo)體、光伏和LED等工廠許多使用的工藝氣體是易燃、易爆的如H2或SiH4，和有毒或者腐蝕性的如COF2，HBr，F(xiàn)2等，在與人或野生動(dòng)物接觸之前必須進(jìn)行處理。

第二、是許多使用的氣體對(duì)環(huán)境是危險(xiǎn)的，如CF4，其壽命約為 50,000年的氣氛，全球變暖潛力為二氧化碳的6.500倍。

第三，是大量廢氣在氣流中含有大量的顆粒或灰塵。 例如，這種灰塵通常在基于硅烷（SiH4）的沉積過(guò)程中產(chǎn)生，反應(yīng)的硅烷產(chǎn)生作為廢物的非常細(xì)的粉塵的二氧化硅。 這種灰塵有可能擾亂設(shè)備排氣，導(dǎo)致制造工廠意外停機(jī)。 使粉塵難以處理的是粒徑通常為亞微米，并且容易通過(guò)濕式洗滌器或物理過(guò)濾器而不被困在洗滌液中。

因此，尾氣處理設(shè)備是制造設(shè)施的重要組成部分。典型的尾氣處理設(shè)備位于子晶圓廠中，放置在真空泵之后。工藝廢氣在無(wú)塵室機(jī)臺(tái)端(POU)反應(yīng)被排放出后，即由真空Pump抽至Local Scrubber做處理，避免在冗長(zhǎng)的排氣過(guò)程中引發(fā)非預(yù)期的氣體泄漏，局部聚積或相互反應(yīng)。

待處理過(guò)后的氣體再接續(xù)至廠務(wù)端中央處理系統(tǒng)做第二道處置，以減少?gòu)S務(wù)端污染物處理上的負(fù)荷，達(dá)到對(duì)半導(dǎo)體業(yè)空氣污染管制及排放的標(biāo)準(zhǔn)。

上面的三點(diǎn)原因就是關(guān)于半導(dǎo)體、光伏和LED等工廠安裝尾氣處理設(shè)備的主要原因了，尾氣處理設(shè)備的安裝，不管是從廢氣治理還是生產(chǎn)安全等方面，都是生產(chǎn)制造中的必備設(shè)備。感謝您的閱讀！