特氣管道系統不銹鋼管徑的計算

特氣管道系統管徑的選擇是基于氣體的大小流量，氣體壓力值對計算的巨大影響不可忽視。此外，管道中氧氣的流速較低，可選擇8m/s。

在芯片工廠的設計中，工藝設備的氣體消耗通常有兩個值，一個是峰值，另一個是平均值，對于不同的設備，峰值與平均值之間的差異是完全不同的。那么計算管道直徑的基準是什么流量？沃飛這里的技術提供了一些自己的設計經驗供參考:

首先，芯片廠工藝設備的運行模式是間歇性的。在某一設備的運行過程中，當氣體消耗達到峰值時，會有一段短暫的時間，然后氣體消耗會下降甚至為零，導致峰值與平均值相差很大，甚至出現幾何級數的差異。

對于主管道，所有工藝設備峰值之和流量可乘以系數(一般為0.7-0.8)作為流量值，因此計算出的管徑基本滿足供氣需求。由于FAB中的所有工藝設備不可能同時達到氣體消耗的峰值，因此沒有必要使用總峰值流量作為計算基礎。管徑過大只會浪費錢。

對于支管甚至支管，需要根據實際情況進行具體分析。如果支管中有更多的氣點，可以使用主要的處理方法。如果用氣點不多甚至只有一個，用用氣點的總峰值流量計算更可靠。