大宗特種氣體供氣系統的應用和介紹

大宗特種氣體供氣系統介紹（集成電路、太陽能電池、LED、液晶顯示）

大宗特種氣體供氣系統主要針對大規模量產的8-12英寸（1英寸=25.4毫米） 超大規模集成電路廠（氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太陽能電池生產線（氣體種類包括NH3），發光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括4、3、NF3）、光纖（氣體種類包括SiCl4）、硅材料外延生產線（氣體種類包括HCL）等行業。它們的投資規模巨大，采用先進的工藝制程設備，用氣需求量大，對穩定和不間斷供應、純度控制和安,全生產提出嚴格的要求。

上述工廠的大宗普通氣體多采用現場制氣(On-site)或工業園區管道(Pipeline)集中供應方式，一個年產5萬片的8英寸 超大規模集成電路廠高純氮氣的需求超過5,000Nm3/h，發光二極管的磊晶工序線和硅外延生產線的氫氣需求超過100Nm3/h。

除了普通鋼瓶（50L及以下）包裝的特種氣體外，還有多種類的特種氣體都普遍采用大包裝容器，由此它們被稱為大宗特氣，包括Y-鋼瓶（450L），T-鋼瓶（980L），集裝格（940L），ISO罐（22,500L），大灌車（13,400L）等。

大宗特種氣體供氣系統（BSGS）采用全自動PLC控制系統，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器，可實現自動切換，自動氮氣吹掃，自動真空輔助放空；多重安,全防護措施，泄漏偵測，遠程緊急切斷；專用氮氣吹掃起源等等。特種氣體采用單獨氣源，多用點采用VMB或VMP分路供應，VMB或VMP采用支路氣動閥，氮氣吹掃，真空輔助排空等。由于BSGS氣源總量大，多采用單獨的氣體房，單獨的抽風系統。

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