萬(wàn)丈高樓平地起，整個(gè)高純氣體管道系統(tǒng)的性能大多基于管道安裝工作時(shí)的質(zhì)量。其中，關(guān)于配管和附件材質(zhì)的選擇是工程質(zhì)量的重點(diǎn)之一。為保證高純氣體在運(yùn)輸中的純度，減少污染，應(yīng)選用滲透性小、出氣速率低、吸附性差的材料。

目前，半導(dǎo)體行業(yè)中高純氣體輸送系統(tǒng)管道材料采用的是不銹鋼光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不銹鋼電拋光管（SS316L-EP）等。在管道安裝前，應(yīng)根據(jù)不同的現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境和使用氣體特性，選擇合適的配管材料和設(shè)計(jì)管路型式。

1.  對(duì)要求控制高純氣體中總雜質(zhì)含量≤1.0×10－6及以下的管材應(yīng)用SS316L-EP管。

2.  惰性氣體使用一般的單層管，作為制程用的反應(yīng)氣體，則選用高級(jí)別的SS316L-EP管；使用與芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體則選用SS316L-BA管。

3.  自燃爆炸，有劇毒的特種氣體，如SiH4、PH3、AsH3等則考慮使用雙套管，它的內(nèi)/外管材質(zhì)一般為SS316L-EP/SS316L-AP，此設(shè)計(jì)的主要目的有兩點(diǎn)，首先可保護(hù)內(nèi)管直接受到外力撞擊，其次能將由內(nèi)管滲漏的氣體阻絕于外管，并利用相關(guān)的檢測(cè)設(shè)備檢測(cè)。

目前，常用的檢測(cè)設(shè)計(jì)有正壓和負(fù)壓兩種方式，負(fù)壓設(shè)計(jì)是將內(nèi)外管間抽成真空，正壓設(shè)計(jì)則是灌以氮?dú)饩S持正壓，兩者皆可接  上壓力表或者壓力警報(bào)器檢知泄漏狀態(tài)。

以上，就是高純氣體管道安裝前的配管及附件材質(zhì)的常用選擇和在面對(duì)不同環(huán)境、不同氣體特性時(shí)該選擇哪種級(jí)別的不銹鋼管材的簡(jiǎn)單介紹，感謝您的閱讀，更多詳情，請(qǐng)關(guān)注我們！