想要有一個(gè)優(yōu)質(zhì)的高純氣體管道系統(tǒng)，就要在高純氣體管道安裝上下功夫。管道安裝除了配管和附件材質(zhì)的選擇以外，最要做好的就是氣體管道整體規(guī)劃設(shè)計(jì)了。

所謂，磨刀不誤砍柴工，優(yōu)秀且全面的高純氣體管道安裝設(shè)計(jì)能避免施工中很多問題。下面就讓有多年從事氣體管道安裝經(jīng)驗(yàn)的沃飛科技來分享一下管道安裝的設(shè)計(jì)要點(diǎn)吧！

從氣體性質(zhì)和純度考慮：

1)  對(duì)于不同特性的氣體，應(yīng)規(guī)劃獨(dú)立的供應(yīng)區(qū)域。一般分為三個(gè)區(qū)：腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū)，將相同性質(zhì)的氣體集中加強(qiáng)管理，可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻與泄漏口，若空間不足，可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)。

2)  對(duì)高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)備，宜采用分等級(jí)高純氣體輸送系統(tǒng)；也可采用同等級(jí)輸送系統(tǒng)，但是在純度要求高的用氣設(shè)備鄰近處設(shè)末端氣體提純裝置。

3)  根據(jù)用氣設(shè)備的分布情況，高純氣體的管網(wǎng)不宜過大或者過長；宜采用不封閉的環(huán)形管路，在系統(tǒng)末端連續(xù)不斷排放少量的氣體，以便在管網(wǎng)中總有高純氣體流通，不會(huì)發(fā)生“死空間”引起高純氣體的污染。

4)  管路中應(yīng)減少不流動(dòng)氣體的“死空間”，不應(yīng)設(shè)有盲管，在特種氣體的儲(chǔ)氣瓶與用氣設(shè)備之間應(yīng)設(shè)吹掃控制裝置、多閥門控制裝置、用以控制各個(gè)閥門的開關(guān)順序、系統(tǒng)吹除，以確保供氣系統(tǒng)的安全、可靠運(yùn)行和防止“死區(qū)”形成而滯留污染物，降低氣體純度。

從氣體檢測(cè)方面考慮：

1)  為了檢測(cè)高純氣體的純度和雜質(zhì)含量，輸送系統(tǒng)除了設(shè)置必要的連續(xù)檢測(cè)儀器，如衡量水含量或者氧雜質(zhì)含量等分析儀外，還應(yīng)設(shè)置定期取樣用的檢測(cè)采樣口，以便按規(guī)定時(shí)間進(jìn)行采樣，分析高純氣體中各種雜質(zhì)的含量。

2)  在亞微米級(jí)的集成電路生產(chǎn)中，要求供應(yīng)10－9級(jí)的高純氣體，為了確保末端用氣工藝設(shè)備處的氣體純度，使氣體中的雜質(zhì)含量（包括塵粒）控制在規(guī)定的數(shù)值內(nèi)，一般在設(shè)備前設(shè)置末端純化裝置，或末端高精度氣體過濾器。

從經(jīng)濟(jì)性方面考慮：

管路設(shè)計(jì)需要考慮輸送的距離，距離越長，成本越高，風(fēng)險(xiǎn)也越高，通常較合理的設(shè)計(jì)流速為20ml/S，可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S，在用量設(shè)計(jì)方面，則需要考慮使用點(diǎn)的壓力和管徑大小，前者與氣體特性有關(guān)，后者使用點(diǎn)的管徑一般為1/4”～3/8”。

以上，便是沃飛分享的一些管道安裝的設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)，高純氣體管道安裝前的整體規(guī)劃設(shè)計(jì)影響著整個(gè)工程的質(zhì)量和效率，將問題消滅于萌芽之中。感謝您的閱讀，更多氣體應(yīng)用資訊，請(qǐng)關(guān)注我們！