高純氣體管道系統(tǒng)所用閥門的嚴密性有十分嚴格的要求，目前國內實驗室的高純氣體管道的閥門基本都采用SS316L不銹鋼材質，閥門型式有減壓閥、隔膜閥、波紋管閥和球閥。減壓閥也叫減壓器調壓閥，是專門控制氣體的壓力調節(jié)作用，波紋管閥的嚴密性比球閥好，在氣體流過閥門時沒有與外環(huán)境接觸的填料，所以沒有滲漏現(xiàn)象：隔膜閥除了嚴密性與波紋管閥相當以外，還具有閥體死體積小，易吹除且污染少，所以適用于對氣體純度和生產(chǎn)工藝要求極嚴格或者危險性大的氣體。

實驗室高純氣體管道系統(tǒng)安裝要求

1、高純氣體一般采用卡套接頭連接和自動氬弧軌道焊接，焊接型式通常采用承插焊和對焊，承插焊的好處在于施焊時管道的對中，方便焊接，但缺點是由于管道與承插口之間有間隙，會存在“死空間’不易將雜質吹除，影響高純氣體質量。因此對于要求極為嚴格的高純氣體來說，應采用對接焊連接并要求內表面無焊縫，即在施工時不得使用不銹鋼焊絲，利用母材的本身融化填滿焊縫。

2、為確保輸送至用氣設備的氣體質量，高純氣體管道與用氣設備之間應用不銹鋼金屬軟管連接，不宜采用非金屬軟管。

3、高純氣體管道與閥門等附件連接應采用密封不易泄漏的專用接頭予以連接，常用的接頭方式有兩種：分別為VCR（Vacuum Coupling Retainer）和SWG（Swaglok），VCR采用優(yōu)良的金屬墊，利用縱向壓力壓緊，因此泄漏率極低，約為10～9A cc/s，且耐壓較高，常用于氣體雜質含量1.0×10－9級的高純氣輸送系統(tǒng)，而SWG則不如VCR，耐壓較低，基本上這兩種接頭方式的安全性足可代替焊接的方式。

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