特種氣體尾氣處理方式

特種氣體對身體健康以及環境都會產生很大的危害，如何處理特氣尾氣，用什么設備處理，這里將會進行深入介紹。

特種氣體尾氣現狀

尾氣作為特氣系統的衍生物不可避免的存在。過去，在很多高校，由于實驗室用氣量不大，建設單位的業主沒有充分意識到尾氣的排放問題，隨著更多半導體工廠雨后春筍的涌現，生產用特氣尾氣的排放越來越多的引起了重視。那么怎么排放，如何排放成為擺在很多用戶面前的問題。同時，尾氣處理裝置如何選配，必須具備什么功能，沃飛科技通過實際項目經驗，給大家一 一闡述。

特氣系統尾氣排放處理裝置的處理方式：

尾氣處理裝置的類型，應根據所處理的排氣中特種氣體的特性進行選擇，不相容特種氣體應分別設置尾氣處理裝置;

尾氣處理裝置應靠近GR、GC等特種氣體設備布置;

特種氣體尾氣處理方法宜采用干式處理吸附、濕式洗滌、加熱分解處理、燃燒處理、等離子分解處理、稀釋處理及以上幾種方式的組合。

Local Scrubber廢氣處理柜

Local Scrubber(本地式小型廢氣處理柜)是近年來特氣系統使用非常廣泛的尾氣處理設備，該設備有電加熱燃燒、水洗滌等多用途組合，尾氣經過設備處理后，再進行排放，也是非常環保的生產方式。