半導(dǎo)體行業(yè)作為高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，往往被人誤解為“清潔”產(chǎn)業(yè)，但事實(shí)上，半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中使用了大量有機(jī)物和無(wú)機(jī)物，包括許多有毒有害物質(zhì)，對(duì)環(huán)境危害較為嚴(yán)重，如不通過(guò)尾氣處理設(shè)備對(duì)廢氣尾氣加以控制，將會(huì)產(chǎn)生較大的環(huán)境污染。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的有機(jī)廢氣主要來(lái)源于清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影工序，其中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機(jī)物成分，主要成分為異丙醇、光刻膠等有機(jī)物，在工藝過(guò)程中，這些有機(jī)溶劑大部分通過(guò)揮發(fā)成為廢氣排放。

揮發(fā)性有機(jī)氣體（Volatile Organic Compound）,簡(jiǎn)稱(chēng)VOCs，由于VOCs具有滲透、脂溶及揮發(fā)等作用，對(duì)人體直接的影響很大，人體與VOCs接觸或經(jīng)呼吸進(jìn)入人體，可能對(duì)人體之呼吸道、肺、神經(jīng)系統(tǒng)、腎等造成危害，所以須加以處理后方可直接排放到大氣中。

目前，針對(duì)這種氣體排放，一般采用吸附、焚燒或兩者相結(jié)合的處理方法。有機(jī)溶劑廢氣先由吸附式尾氣處理設(shè)備Local Scrubber進(jìn)行吸附處理，再進(jìn)入中央處理系統(tǒng)central scrubber進(jìn)行二次處理后排入大氣。

吸附是利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體，使其中所含的一種或多種組分吸附于固體表面上，達(dá)到分離的目的。吸附劑選擇性高，能分開(kāi)其他過(guò)程難以分開(kāi)的混合物，有效地清除（或回收）濃度很低的有害物質(zhì)，凈化效率高，設(shè)備簡(jiǎn)單，操作方便，且能實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。

以上，就是關(guān)于半導(dǎo)體工藝中有機(jī)溶劑（VOCs）尾氣和尾氣處理設(shè)備Local Scrubber的簡(jiǎn)單介紹，感謝您的閱讀！