隨著半導體行業突飛猛進的發展，人們對在半導體制造業中產生的大量有腐蝕性有毒易自燃危害環境的氣體處理和尾氣處理設備（Local Scrubber）提出了更高的要求。

在半導體器件和集成電路制造中，將某些雜質摻入半導體材料內，使材料具有所需要的導電類型和一定的電阻率，以制造電阻、PN結、埋層等的工序被稱為摻雜工藝。摻雜工藝所用的氣體稱為摻雜氣體，是一種混合氣，主要包括砷烷、磷烷、三氟化磷、五氟化磷、三氟化砷、五氟化砷、三氟化硼、乙硼烷等。

含氟化合物廢氣的危害性

含氟化合物的廢氣尾氣，需經尾氣處理設備處理后方可排出，否則會對周邊人員和環境造成很大的危害。如氟化氫（HF）有強烈的刺激和腐蝕作用，可通過呼吸道粘膜、皮膚和腸道吸收,對人體全身產生毒性作用。氟能和人本骨骼和血液中的鈣結合，從而導致氟骨病。長期暴露在低濃度的氫氟酸蒸氣中，可引起牙齒酸蝕癥，使牙齒粗糙無光澤，易患牙齦炎。當空氣中HF濃度為0.03-0.06mg/m3時，兒童牙斑釉患病率明顯增高。HF的慢性中毒可造成鼻粘膜潰瘍、鼻中隔穿孔等，還可引起肺纖維化。高濃度的HF能引起支氣管炎和肺炎。

吸附式尾氣處理設備

吸附式尾氣處理設備（Local Scrubber）幾乎能處理所以小流量的廢氣，是半導體廠常用的尾氣處理設備，吸附是利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體，使其中所含的一種或多種組分吸附于固體表面上，達到分離的目的。吸附劑選擇性高，能分開其他過程難以分開的混合物，有效地清除（或回收）濃度很低的有害物質，凈化效率高，設備簡單，操作方便，且能實現自動控制。

以上，就是關于半導體制程中摻雜工藝中含氟化合物的廢氣如果未經處理排放對人體和環境危害性和尾氣處理設備（Local Scrubber）的簡單介紹，感謝您的閱讀！